میکرومتر ۱۰ نانومتری روی نوار ابررسانا به کار افتاد

دو کاربردی که میکرو-اپسیلون منتشر کرده ارزش دارد با هم خوانده شوند، چون در کنار هم توصیف می‌کنند که اندازه‌گیری درون‌خطی برای مفید بودن باید از چه چیزهایی جان سالم به در ببرد.

نخستین، میکرومتر LED مدل optoCONTROL 2700-40 است با تفکیک ۱۰ نانومتر، تکرارپذیری ۰٫۱ میکرومتر یا بهتر و نرخ اندازه‌گیری ۵ کیلوهرتز. این دستگاه روی نوار ابررسانا به کار گرفته شده است: اندازه‌گیری چندبخشی روی نوار فولاد زنگ‌نزن به عرض ۱۲ میلی‌متر که بخش‌های جزئی به عرض ۳ تا ۴ میلی‌متر را با فاصله‌های ۰٫۵ میلی‌متری میانشان تفکیک می‌کند. اندازه‌گیری نوری و بدون تماس است و این یک راحتی نیست — نوار پوشش‌های حساس PVD دارد که گیج تماسی آنها را آسیب می‌زند.

مشخصه‌ای که تعیین می‌کند چنین گیجی حلقه کنترل را می‌بندد یا فقط داده ثبت می‌کند فهرست واسط‌هاست و این یکی صریح آمده است: داده اندازه‌گیری به صورت بی‌درنگ از راه EtherCAT، PROFINET، EtherNet/IP یا سیگنال آنالوگ به سامانه‌های کنترل می‌رود. گیج نوری ۵ کیلوهرتزی که فقط می‌تواند روی USB گزارش بدهد ابزار آزمایشگاهی است. همان گیج روی EtherCAT یک عنصر بازخورد است.

کاربرد دوم حسگرهای جابه‌جایی خازنی را درون محفظه‌های فرایند نیمه‌هادی می‌گذارد تا تخت بودن و هم‌صفحگی ویفر را برای پیوند ترکیبی اندازه بگیرند، هم در فرایند دای-به-ویفر و هم ویفر-به-ویفر. این حسگرها طراحی سازگار با خلا دارند و این همان مسئله مهندسی دشواری است که به نظر می‌رسد: بدون خروج گاز از روکش کابل یا مواد پرکننده، بدون روان‌کار، و بدنه‌ای که چرخه حرارتی محفظه را بدون خروج از کالیبراسیون تحمل کند.

پیوند ترکیبی جایی است که بسته‌بندی پیشرفته امروز در آن زندگی می‌کند و هم‌صفحگی یکی از قیدهای تعیین‌کننده آن است — سطوحی که به هم می‌پیوندند باید تا اندازه‌ای تخت و موازی باشند که اندازه‌گیری مکانیکی متعارف را بی‌فایده می‌کند. سنجش آن درون محفظه، به جای استنتاج بعدی از بازده پیوند، تفاوت میان کنترل فرایند و کالبدشکافی پس از مرگ است.

رشته مشترک این است که هر دو کاربرد اندازه‌گیری‌هایی‌اند که با متوقف کردن فرایند، لمس قطعه یا بردنش به آزمایشگاه به دست نمی‌آیند. همین قید است که گیج درون‌خطی را تعریف می‌کند، نه عدد تفکیک.